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最后，氦气在芯片制造中，非常关键的一环。晶圆制造需要稳定的环境。氦气常被用于设备冷却，它导热性能极高，能瞬间带走设备产生的热量。由于分子小、扩散速度快，能发现极其细微的泄漏。在等离子蚀刻和光刻设备中，氦气还用于稳定气体环境，纯度要求在99.999%，全球只有极少数国家能供应。
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